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ARTICLES在半導(dǎo)體制造工藝中,多功能掩膜版光刻機(jī)是實(shí)現(xiàn)高精度微結(jié)構(gòu)圖案轉(zhuǎn)移的關(guān)鍵設(shè)備。正確操作這一精密儀器不僅能夠確保高質(zhì)量的產(chǎn)品輸出,還能有效延長(zhǎng)設(shè)備壽命。本文將詳細(xì)介紹多功能掩膜版光刻機(jī)的正確使用步驟,幫助您掌握從準(zhǔn)備到完成的每一個(gè)細(xì)節(jié)。一、準(zhǔn)備工作1、環(huán)境檢查與調(diào)整在開(kāi)始操作之前,請(qǐng)確保實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)車(chē)間的潔凈度符合要求。通常情況下,光刻工藝需要在百級(jí)或更高級(jí)別的潔凈室環(huán)境中進(jìn)行。檢查并調(diào)節(jié)環(huán)境溫度和濕度,保持在推薦范圍內(nèi)(如23±2°C,相對(duì)濕度40%-60%),以...
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