美國Harrick PDC-002 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)

基本參數(shù)：

主要特征：
臺(tái)式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊精致
低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率，可為30W
設(shè)備輻射小，安全環(huán)保

· 外形尺寸：11"H x 18"W x 9"D（279mm x 457mm x 228mm）

· 重量：20.0kg

· 輸入電源：220 V / 50Hz

· 輸入功率：200 W



· 常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等

· 功率檔：
低檔716V DC、10mA DC、7.16W
中檔720V DC、15mA DC、10.15W
高檔740V DC、40mA DC、29.6W

· 基本配置：
直徑6英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
含磁力鎖和可視窗的鉸鏈艙蓋。
為30W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥

· 選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
氣體計(jì)量混合器Plasma FloTM

· 周邊設(shè)備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

· 選件一：氣體計(jì)量混合器PlasmaFloTM

功能及配置簡(jiǎn)介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計(jì)量混合器是一臺(tái)可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(jì)(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測(cè)量艙內(nèi)壓力
6、適用氣體：空氣、氮?dú)狻鍤饣蚧旌蠚怏w。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號(hào)：PDC-FMG-2

· 選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。
PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮(zhèn)關(guān))：1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮(zhèn)開)：23 mTorr
電機(jī)功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs

尺寸: 9"H x 15"W x 5"D

· 選件三：石英等離子清洗艙及托盤